半導體及電子行業接觸的真空一般指的是氣壓比一標準大氣壓小的氣體空間，是指稀薄的氣體狀態，一般是用特制的抽氣機獲得真空。

   真空泵是主要的真空裝備，予華儀器循環水式多用真空泵根據實驗室面積較小這一特點，參照日本臺式泵，一次性成型外殼，縮小體積改進而成，具有體積小，重量輕，外形美觀等特點，雙表、雙頭抽氣，四表四抽頭，雙面相同的多用真空泵，既便于教師直觀演示，學生亦可在任意一面開機、關機。

　　2、換油期限按實際使用條件和能否滿足性能要求等情況考慮，由用戶酌情決定。一般新真空泵，抽除清潔干燥的氣體時，建議在工作100h左右換油一次。待油中看不到黑色金屬粉末后，以后可適當延長換油期限。 　　

　　3、一般情況下，真空泵工作2000h后應進行檢修，檢查橡膠密封件老化程度，檢查排氣閥片是否開裂，清理沉淀在閥片及排氣閥座上的污物。清洗整個真空泵腔內的零件，如轉子、旋片、彈簧等。一般用汽油清洗，并烘干。對橡膠件類清洗后用干布擦干即可。清洗裝配時應輕拿輕放小心碰傷。有條件的對管中同樣進行清理，確保管路暢通。檢查真空泵管路及結合處有無松動現象。

　　4、重新裝配后應進行試運行，一般須空運轉2h并換油2次，因清洗時在真空泵中會留有一定量易揮發物，待運轉正常后，再投入正常工作。向軸承體內加入軸承潤滑機油，觀察油位應在油標的中心線處，潤滑油應及時更換或補充。擰下真空泵泵體的引水螺塞，灌注引水（或引漿）。關好出水管路的閘閥和出口壓力表及進口真空表。　　

　　5、用手轉動真空泵，試看真空泵是否靈活。點動電機，試看電機轉向是否正確。開動電機，當真空泵正常運轉后，打開出口壓力表和進口真空泵，視其顯示出適當壓力后，逐漸打開閘閥，同時檢查電機負荷情況。盡量控制循環水真空泵的流量和揚程在標牌上注明的范圍內，以保證真空泵在高效率點運轉，才能獲得大的節能效果。真空泵在運行過程中，軸承溫度不能超過環境溫度35℃，高溫度不得超過80℃。 　　

　　6、如發現真空泵有異常聲音應立即停車檢查原因。真空泵要停止使用時，先關閉閘閥、壓力表，然后停止電機。真空泵在工作第一個月內，經100h更換潤滑油，以后每隔500h，換一次油。經常調整填料壓蓋，保證填料室內的滴漏情況正常（以成滴漏出為宜）。　　

　　7、定期檢查軸套的磨損情況，磨損較大后應及時更換。真空泵在寒冬季節使用時，停車后，需將泵體下部放水螺塞擰開將介質放凈。防止凍裂。真空泵長期停用，需將泵全部拆開，擦干水分，將轉動部位及結合處涂以油脂裝好，妥善保管。